国家知识信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“加热器组件、衬底支撑件以及光刻设备”的，公开号CN121219642A，申请日期为2024年5月加热器 。
摘要显示，用于在整体圆柱形的衬底支撑件上使用的加热器组件，加热器包括：第一加热器区段，第一加热器区段被配置为固定到衬底支撑件的圆周表面；以及第二加热器区段，第二加热器区段被配置为固定到衬底支撑件的圆周表面；其中第一加热器区段的第一端部和第二加热器区段的第二端部被配置为在被固定到圆周表面时，在衬底支撑件的轴向方向上交叠加热器 。
声明：市场有风险，投资需谨慎加热器 。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
来源：市场资讯